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华体会体育hth-阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造

据外媒报道,比利时微电子研究中心(IMEC)已成功利用阿斯麦最先进的极紫外光刻(EUV)设备,实现了纳米孔的全晶圆级制造,纳米孔的特性在生物医学领域极具研究价值。阿斯麦公司公关负责人将此称作其公司设备

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